線性壓電納米位移臺MF30-30A,大行程直線位移臺,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境,支持定制納米位移臺。
• 產(chǎn)品優(yōu)勢
△ 結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
△ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
△ 室溫到液氦工作溫度,超高真空兼容
△ 壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命
△ 帶位移傳感器,提供位置和速度閉環(huán)控制
• 產(chǎn)品應(yīng)用
電子顯微鏡原位納米探針臺,半導(dǎo)體芯片檢測,光刻機工件臺,微生物操縱手,光纖焊接,超精密組裝,精密檢測與測量。





