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1、樣品受X射線光源的激發(fā)，發(fā)射出所含各元素的特征熒光X射線，而每種元素的特征熒光X射線熒光的能量都是，因此探測并識別特征熒光X射線的能量，就能判斷被測樣品含有哪些元素，這就是X射線熒光光譜定性分析
2、而具有某種特定能量的特征熒光X射線強度的大小，由于被測樣品中發(fā)射該能量特征熒光X射線的元素含量多少成正比關系.測量這些特征熒光X射線的強度，并進行相應的數(shù)據(jù)處理，就可以得出相應元素在樣品中的含量，這就是X射線熒光光譜定量分析
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