一、控制核心原理

• 目標(biāo)：把箱內(nèi)氧濃度降到工藝要求（不是流量越大越好）

• 方式：氮?dú)庵脫Q空氣 → 壓力微正壓防外界空氣滲入 → 實(shí)時監(jiān)測氧含量 → 自動 / 手動調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

• 關(guān)鍵參數(shù)：氮?dú)饬髁浚↙/min）、氧含量（%/ppm）、腔體壓力（微正壓～0.02~0.05MPa）、置換次數(shù)

二、兩種控制模式（自動 / 手動）

1. 自動控制（主流工業(yè)機(jī)型）

• 氧含量設(shè)定

  • 普通防氧化：氧含量 ≤3%~5%（氮?dú)鉂舛?95%~97%）

  • 電子 / 鋰電：≤0.5%~1%（99%~99.5%）

  • 半導(dǎo)體 / 晶圓：≤100ppm~10ppm（99.99%~99.999%）

• 控制邏輯

  • 氧 > 設(shè)定 → 開大流量 / 補(bǔ)氣

  • 氧 ≤ 設(shè)定 → 關(guān)小 / 間歇補(bǔ)氣

  • 帶真空機(jī)型：抽真空→充氮循環(huán) 2~3 次，快速降氧

  • 流量：5%~20% 初始流量（1~3L/min）

  • 目的：保持微正壓、補(bǔ)漏、維持氧濃度穩(wěn)定

  • 流量：3~5 倍腔體容積 / 小時

  • 例：100L → 300~500L/h（5~8L/min）

  • 目的：快速把氧從 21% 降到目標(biāo)值以下

1. 關(guān)排氣 → 開氮?dú)獬渲?span style="font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-variant-alternates: normal; font-size-adjust: none; font-kerning: auto; font-optical-sizing: auto; font-feature-settings: normal; font-variation-settings: normal; font-variant-position: normal; font-variant-emoji: normal; font-stretch: normal; font-weight: 700; line-height: 24px; flex: 0 1 auto; flex-direction: row; justify-content: normal; align-items: normal; padding: 0px; margin: 0px; background-image: none; background-position: 0% 0%; background-size: auto; background-repeat: repeat; background-attachment: scroll; background-origin: padding-box; background-clip: border-box;">微正壓（0.02~0.05MPa）

2. 關(guān)進(jìn)氣 → 靜置 5min 混勻

3. 微開排氣泄壓至常壓

4. 重復(fù) 2~3 次 置換

5. 最后開氮?dú)?span style="font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-variant-alternates: normal; font-size-adjust: none; font-kerning: auto; font-optical-sizing: auto; font-feature-settings: normal; font-variation-settings: normal; font-variant-position: normal; font-variant-emoji: normal; font-stretch: normal; font-weight: 700; line-height: 24px; flex: 0 1 auto; flex-direction: row; justify-content: normal; align-items: normal; padding: 0px; margin: 0px; background-image: none; background-position: 0% 0%; background-size: auto; background-repeat: repeat; background-attachment: scroll; background-origin: padding-box; background-clip: border-box;">5~10L/min，保持微正壓

6. 用氧分析儀測濃度，微調(diào)閥門固定

三、分階段流量 / 充氮量參考（通用）

• 容積：V（L）；氮?dú)饧兌龋?ge;99.99%

• 初始置換：流量 = (0.05~0.1)×V L/min

  • 充氮時間：15~30min（至氧 < 5%）

• 維持：流量 = (0.005~0.02)×V L/min

  • 保持微正壓、氧穩(wěn)定

• 抽真空至 -0.07~-0.09MPa

• 充氮至常壓：流量 =(0.1~0.2)×V L/min

• 循環(huán) 2~3 次 → 氧可至 **<100ppm~10ppm**

• 維持：1~3% 容積流量，微正壓

四、關(guān)鍵控制要點(diǎn)（防浪費(fèi) + 保效果）

1. 微正壓原則（必守）

   • 箱壓：0.02~0.05MPa（表壓）

   • 排氣始終微開：只出不進(jìn)，防空氣倒灌

2. 流量不是越大越好

   • 過大：氮?dú)庵苯优艿?、浪費(fèi)、擾動物料

   • 過小：置換慢、氧降不下來、易漏氣

3. 氮?dú)饧兌绕ヅ?/span>

   • 常規(guī)：99.99%

   • 高敏：99.999%（5N）

4. 置換效率

   • 真空 + 充氮循環(huán) >> 直充

   • 內(nèi)部導(dǎo)流 / 均勻布?xì)夂苤匾?/p>

五、實(shí)操步驟（通用）

1. 設(shè)目標(biāo)氧含量（如 1%/500ppm）

2. 設(shè)壓力：微正壓 0.03MPa

3. 初始：高流量充氮 / 真空 - 充氮循環(huán)至氧達(dá)標(biāo)

4. 達(dá)標(biāo)后：切小流量維持，觀察氧穩(wěn)定

5. 加熱 / 工藝中：氧波動自動補(bǔ)氣

6. 冷卻到80℃以下再停氮、開門

六、常見問題

• 氧降不下來

  • 純度不夠、壓力低、泄漏、置換次數(shù)少、傳感器不準(zhǔn)

• 氮?dú)馓M(fèi)

  • 維持流量太大、正壓過高、密封差、未用真空循環(huán)